F30 系列在線厚度測量系統(tǒng)是監(jiān)控薄膜沉積最強(qiáng)有力的工具，能實(shí)時(shí)測量沉積率、沉積層厚度、光學(xué)常數(shù) (n 和 k 值) 和半導(dǎo)體以及電介質(zhì)層的均勻性。在分子束外延和金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積鍍膜中，F(xiàn)30可以測量平滑和半透明的，或輕度吸收的薄膜，這實(shí)際上已經(jīng)包括了從氮化鎵鋁到鎵銦磷砷的任何半導(dǎo)體材料。

     F32則可以配置多個(gè)探頭，最多可在四個(gè)不同位置同時(shí)測量薄膜的厚度，軟件和測量結(jié)果可以通過設(shè)備上的數(shù)字I/O接口進(jìn)行控制和采集，F(xiàn)32是一款非常適合集成在自動(dòng)化生產(chǎn)線的膜厚測量設(shè)備。